洁净厂房设计规范

洁净厂房内各洁净室的空气洁净度等级的确定，应符合下列要求：

一、洁净室内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。 

二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净室的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。

1、层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设置。

2、洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：

（1）满足生产工艺要求

（2）生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，湿度70度。

三、洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的较大值；

1、乱流洁净室总送风量的10%～30%，层流洁净室总送风量的2～4%。

2、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量。

3、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。

四、洁净室正压控制

洁净室必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于5Pa，洁净区与室外的静压差，应不小于10Pa。